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铈系研磨材料及其制造方法 发明申请

2022-07-31 3970 1383K 0

专利信息

申请日期 2024-11-17 申请号 CN03800767.3
公开(公告)号 CN1543493A 公开(公告)日 2004-11-03
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 三井金属鉱业株式会社
简介 本发明的目的是提供只要与水等分散介质混合、 就可调制出研磨材料粒子的分散状态被长时间维持的铈系研 磨材料淤浆、且研磨完毕的研磨材料淤浆的后处理简单的粉末 状铈系研磨材料。本发明的铈系研磨材料是包含含氯化合物的 铈系研磨材料,其中所含的氯(元素)的总质量相当于铈系研磨 材料中所含的全部稀土氧化物的质量的0.05%~5.0%。以该研 磨材料为固形成分的研磨材料淤浆中的研磨材料粒子的分散 维持性良好。因此,能够连续地供给固形成分浓度稳定的研磨 材料淤浆。此外,不需要维持分散状态的分散剂。研磨材料使 用后,不需要分散剂的分离处理,所以,使用完毕的研磨材料 淤浆的后处理简单。


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