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控制存储器电阻性质的氧含量系统及方法 发明申请

2022-07-31 1550 987K 0

专利信息

申请日期 2024-11-29 申请号 CN200410045717.4
公开(公告)号 CN1574215A 公开(公告)日 2005-02-02
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 夏普株式会社
简介 提供了一种存储单元以及用来控制存储材料的 电阻性质的方法。此方法包含:形成亚锰酸盐;在氧气氛中对 亚锰酸盐进行退火;响应于退火而控制亚锰酸盐中的氧含量; 以及响应于氧含量而控制通过亚锰酸盐的电阻。此亚锰酸盐是 通式为RE1- xAExMnOy的钙钛矿型氧化锰,其中,RE是稀土 离子,AE是碱土离子,x为0.1-0.5。对亚锰酸盐中的氧含量 的控制包括形成y大于3的富氧RE1- xAExMnOy区。在富氧的亚锰酸盐区中得到了低 的电阻。当y小于3时,形成了高电阻。更具体地说,此工艺 形成了邻接贫氧高阻亚锰酸盐区的低阻富氧亚锰酸盐区。


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