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RARE EARTH METAL COMPLEX, MATERIAL FOR THIN-FILM FORMATION, AND PROCESS FOR PRODUCING THIN FILM 发明申请

2022-07-31 2370 1086K 0

专利信息

申请日期 2024-11-19 申请号 WOJP04011043
公开(公告)号 WO2005019234A1 公开(公告)日 2005-03-03
公开国别 WO 申请人省市代码 全国
申请人 ASAHI DENKA Co Ltd
简介 A rare earth metal complex which is a tris-s-butylcyclopentadienyl/rare earth metal complex represented by the following general formula (I). It is a liquid rare earth metal complex excellent in heat resistance and volatility and suitable for use as a material for thin-film formation. (In the formula, M represents a rare earth metal.)


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