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一种抛光用超细氧化铈的制备方法 发明申请

2022-07-31 3950 429K 0

专利信息

申请日期 2024-11-17 申请号 CN200510132522.8
公开(公告)号 CN1821314A 公开(公告)日 2006-08-23
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 内蒙古科技大学
简介 本发明涉及一种超细氧化铈的制备方法,属于稀 土化合物的制备技术领域。其特点是:制备含有铈离子的盐溶 液,然后在该溶液中加入表面活性剂,让上述溶液先与一种碱 性物质接触,控制反应悬浮液的pH值,生成沉淀物,然后该 悬浮液用草酸进行转化,控制反应终点的pH值,最后过滤、 洗涤、干燥该沉淀物,在600~1000℃下灼烧,得到粒径在 10nm~3μm之间,比表面积小于 50m2/g的超细氧化铈,该超细氧 化铈主要用做抛光材料,特别是用于光掩模的抛光。本发明得 到小颗粒的沉淀物,用草酸转型,可以控制超细氧化铈产品的 晶型,使其适合于抛光。同时本发明制备抛光用超细氧化铈, 粒度分布均匀、形状一致性好,适合工业化生产,成本较低。


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