稀土类金属络合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法发明申请

2022-07-31 3520 932K 0

申请日期	2024-11-26	申请号	CN200480022864.8
公开（公告）号	CN1832952A	公开（公告）日	2006-09-13
公开国别	CN	申请人省市代码	全国
申请人	旭电化工业株式会社
简介	本发明的稀土类金属络合物是以下述通式(I)表示的稀土类金属的三仲丁基环戊二烯基络合物，其在耐热性和挥发性方面优异，是适用于薄膜形成用原料的液态稀土类金属络合物，式中，M表示稀土类金属原子。

您还没有登录，请登录后查看下载地址

点赞 0反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0评论 0

下载排行

稀土类金属络合物、薄膜形成用原料和薄膜的制造方法 发明申请