| 申请日期 | 2025-02-23 | 申请号 | CN202080065139.8 |
| 公开（公告）号 | CN114402404A | 公开（公告）日 | 2022-04-26 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 信越化学工业株式会社 | ||
| 简介 | 本发明的稀土类磁体的制备方法如下：使用夹具(6)将多个烧结体(7)并列配置，使得多个烧结体(7)的第1面(21)沿着与垂直方向平行的面；在设置有在多个烧结体(7)的第1面(21)侧配置的靶(4)的第一成膜处理室(5)内，使膜在使用夹具(6)并列配置的多个烧结体(7)的第1面(21)上成膜；在设置有在多个烧结体(6)的第2面(22)侧配置的靶(4)的与第一成膜处理室(5)并列设置的第二成膜处理室(25)内，使膜在使用夹具(6)并列配置的多个烧结体(7)的第2面(22)上成膜；在第一成膜处理室(5)和第二成膜处理室(25)之间，使使用夹具(6)并列配置的多个烧结体(7)在水平方向移动。根据本发明，可提供能够通过利用由物理气相生长法形成的膜的晶界扩散法以稳定的品质且大量地制备高性能稀土类磁体的稀土类磁体的制备方法。 | ||
|
您还没有登录，请登录后查看下载地址
|
客服热线：
手机版
二维码
