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高纯度镧之制造方法、高纯度镧、由高纯度镧构成之溅镀靶及以高纯度镧为主成分之金属闸膜 发明申请

2022-07-19 3060 2891K 0

专利信息

申请日期 2024-11-27 申请号 TW101132970
公开(公告)号 TW201315820A 公开(公告)日 2013-04-16
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 JX日鑛日石金属股份有限公司;
简介 一种高纯度镧,不计稀土元素及气体成分之纯度在5N以上,α射线计数在0.001cph/cm 2 以下。一种高纯度镧之制造方法,於浴温450~700℃对不计气体成分之纯度在4N以下的粗镧金属原料进行熔盐电解,而得到镧结晶,接着在对该镧结晶进行除盐处理後,进行电子束熔解将挥发性物质去除,使不计稀土元素及气体成分的纯度在5N以上,α射线计数在0.001cph/cm 2 以下。课题在於提供一种如下之技术:可有效率且稳定地提供一种低α射线之高纯度镧、由高纯度材料镧构成之溅镀靶、及以高纯度材料镧为主成分之金属闸极用薄膜。


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