| 申请日期 | 2024-11-26 | 申请号 | CN201220587833.9 |
| 公开（公告）号 | CN203150595U | 公开（公告）日 | 2013-08-21 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 吴纳新 | ||
| 简介 | MOCVD生长氮化镓晶片的尾气处理、回收和循环使用装置主要包括：MOCVD装置(1)、精密过滤器(2)、压缩机(3)、氨分离器(4)、液氨钢瓶(5)、氨纯化装置(6)、钯管纯化器(7)。来自MOCVD生长氮化镓半导体发光材料产生的含氨、含氢废气首先通过精密过滤除去和回收稀土金属颗粒，再通过压缩冷冻除去和回收高纯氨，然后通过钯管纯化器分离除去和回收高纯氢，实现绿色生产，属于节能环保领域。 | ||
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