| 申请日期 | 2025-04-06 | 申请号 | TW103121416 |
| 公开（公告）号 | TWI664073B | 公开（公告）日 | 2019-07-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 应用材料股份有限公司 | ||
| 简介 | 物件包含主体和至少一保护层，保护层位於主体的至少一表面上至少一保护层系厚度小於约20微米的薄膜，且包含选自由Y3Al5O12、Y4Al2O9、Er2O3、Gd2O3、Er3Al5O12、Gd3Al5O12和陶瓷化合物所组成群组的陶瓷，陶瓷化合物包含Y4Al2O9与Y2O3-ZrO2固体溶液 | ||
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