客服热线:18202992950

稀土氧化物系抗电浆腐蚀薄膜涂层 发明申请

2022-07-19 1180 3422K 0

专利信息

申请日期 2024-11-17 申请号 TW103121416
公开(公告)号 TW201504044A 公开(公告)日 2015-02-01
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 应用材料股份有限公司
简介 物件包含主体和至少一保护层,保护层位於主体的至少一表面上。至少一保护层系厚度小於约20微米的薄膜,且包含选自由Y3Al5O12、Y4Al2O9、Er2O3、Gd2O3、Er3Al5O12、Gd3Al5O12和陶瓷化合物所组成群组的陶瓷,陶瓷化合物包含Y4Al2O9与Y2O3-ZrO2固体溶液。 An article comprises a body and at least one protective layer on at least one surface of the body. The at least one protective layer is a thin film having a thickness of less than approximately 20 microns that comprises a ceramic selected from a group consisting of Y3Al5O12, Y4Al2O9, Er2O3, Gd2O3, Er3Al5O12, Gd3Al5O12and a ceramic compound comprising Y4Al2O9and a solid-solution of Y2O3-ZrO2.


您还没有登录,请登录后查看下载地址


反对 0举报 0 收藏 0 打赏 0评论 0
下载排行
网站首页  |  关于我们  |  联系方式  |  使用协议  |  版权隐私  |  网站地图  |  排名推广  |  广告服务  |  积分换礼  |  网站留言  |  RSS订阅  |  违规举报