含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物及其合成方法与应用发明授权

2022-07-18 3620 544K 0

申请日期	2024-11-27	申请号	CN201110265488.7
公开（公告）号	CN102432631B	公开（公告）日	2014-07-23
公开国别	CN	申请人省市代码	全国
申请人	南京航空航天大学
简介	含氮官能团取代烷氧基稀土金属镧和钆配合物，用下式表示：含氮官能团取代烷氧基稀土镧和钆配合物应用在原子层沉积技术上，具有足够的挥发性，合适的热稳定性，足够的反应活性，底物的匹配性并且价格合适、容易制备、低毒性等优点。

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