| 申请日期 | 2025-04-06 | 申请号 | TW110124003 |
| 公开（公告）号 | TWI748928B | 公开（公告）日 | 2021-12-01 |
| 公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 美商应用材料股份有限公司 | ||
| 简介 | 物件包含主体和至少一保护层保护层位于主体的至少一表面上。至少一保护层系厚度小于约20微米的薄膜且包含选自由; 3; 5; 12、; 4; 2; 9、; 2; 3、; 2; 3、; 3; 5; 12、; 3; 5; 12和陶瓷化合物所组成群组的陶瓷陶瓷化合物包含; 4; 2; 9与; 2; 3-; 2固体溶液。 | ||
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