| 申请日期 | 2024-11-17 | 申请号 | CN201480030094.5 |
| 公开（公告）号 | CN105247662A | 公开（公告）日 | 2016-01-13 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 应用材料公司 | ||
| 简介 | 制品包含主体和至少一个保护层，所述保护层位于所述主体的至少一个表面上。所述至少一个保护层是具有小于约20微米的厚度、并包含陶瓷的薄膜，所述陶瓷选自由以下各项组成的组：Y3Al5O12、Y4Al2O9、Er2O3、Gd2O3、Er3Al5O12、Gd3Al5O12以及含Y4Al2O9与Y2O3-ZrO2固体溶液的陶瓷化合物。 | ||
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