| 申请日期 | 2024-11-17 | 申请号 | CN201710073435.2 |
| 公开（公告）号 | CN106810257A | 公开（公告）日 | 2017-06-09 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 应用材料公司 | ||
| 简介 | 本申请公开了稀土氧化物基单片式腔室材料。一种固体烧结陶瓷制品可包括固溶体，所述固溶体包含：约30摩尔％至约60摩尔％的浓度的Y2O3；约20摩尔％至约60摩尔％的浓度的Er2O3；以及约0摩尔％至约30摩尔％的浓度的ZrO2、Gd2O3或SiO2的至少一者。或者，所述固体烧结陶瓷制品可包括固溶体，所述固溶体包含40‑100摩尔％的Y2O3、0‑50摩尔％的ZrO2以及0‑40摩尔％的Al2O3。 | ||
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