申请日期 | 2025-04-06 | 申请号 | TW110141086 |
公开(公告)号 | TW202206275A | 公开(公告)日 | 2022-02-16 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 美商应用材料股份有限公司 | ||
简介 | 物件包含主体和至少一保护层保护层位于主体的至少一表面上。至少一保护层系厚度小于约20微米的薄膜且包含选自由3512、429、23、23、3512、3512和陶瓷化合物所组成群组的陶瓷陶瓷化合物包含429与23-2固体溶液。; 203512.429.23.23.3512.3512429-23-2 |
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