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微酸性条件下的碱性玻璃抛光液以及应用 发明申请

2022-07-07 3720 270K 0

专利信息

申请日期 2025-04-07 申请号 CN201710260794.9
公开(公告)号 CN106883768A 公开(公告)日 2017-06-23
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 宁波日晟新材料有限公司
简介 本发明提供一种微酸性条件下的碱性玻璃抛光液,其特征在于:抛光液的有效成份为稀土氧化物,以及一种有机和/或无机缓冲液,使抛光液保持pH在5‑8之间。该抛光液用于含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体、玻璃制品、单晶硅表面、芯片生产的绝缘氧化层的抛光。


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