申请日期 | 2024-11-17 | 申请号 | TW103117932 |
公开(公告)号 | TWI601637B | 公开(公告)日 | 2017-10-11 |
公开国别 | TW | 申请人省市代码 | 全国 |
申请人 | 应用材料股份有限公司 | ||
简介 | 一种物件包括涂布有陶瓷涂层的主体该陶瓷涂层可以包括范围在约45莫耳%至约99莫耳%之间的Y2O3、范围在约0莫耳%至约55莫耳%之间的ZrO2、及范围在约0莫耳%至约10莫耳%之间的Al2O3或者该陶瓷涂层可以包括范围在约30莫耳%至约60莫耳%之间的Y2O3、范围在约0莫耳%至约20莫耳%之间的ZrO2、及范围在约30莫耳%至约60莫耳%之间的Al2O3 |
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