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高纯稀土氧化物中痕量/超痕量杂质定量测量方法 发明授权

2022-06-02 3130 541K 0

专利信息

申请日期 2024-11-17 申请号 CN201910327118.8
公开(公告)号 CN110057900B 公开(公告)日 2022-03-08
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 中国计量科学研究院
简介 本发明提供一种高纯稀土氧化物中痕量/超痕量杂质测量方法。包括:制备导电辅助装置;将装载了稀土氧化物样品的高纯铜柱体置于GDMS中进行检测,溅射;采用粉末掺杂法制备铜基校正样品;GDMS对制备得到的铜基校正样品进行分析,得到相对灵敏度因子RSF,根据相对灵敏度因子及GDMS检测得到的数据,按照公式(2),计算得到稀土氧化物样品中杂质的含量。GDMS为固体直接测量方法,因此相对于目前常用的湿法避免了复杂的样品处理过程,大大提高了分析效率,而且可以避免在消解过程中的元素损失与污染;可同时检测73种元素,且检出限低,对于大部分元素,其定量检出限(LoQ)在ng/g量级,满足痕量/超痕量杂质的准确测量。


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