| 申请日期 | 2025-02-20 | 申请号 | US15211934 |
| 公开（公告）号 | US9890086B2 | 公开（公告）日 | 2018-02-13 |
| 公开国别 | US | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | Applied Materials Inc | ||
| 简介 | A plasma resistant ceramic article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 60-80 mol % of Y2O3, above 0 mol % to 9 mol % of ZrO2, and 20-40 mol % of Al2O3. | ||
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