| 申请日期 | 2025-02-22 | 申请号 | CN201710695375.8 |
| 公开（公告）号 | CN107686976A | 公开（公告）日 | 2018-02-13 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 上海卫星装备研究所 | ||
| 简介 | 本发明提供一种星用二硫化钼基复合润滑膜的制备方法，采用闭合场非平衡磁控溅射MoS2靶、Ti靶和稀土氟化物靶，在工作气体Ar的作用下，通过控制MoS2靶和Ti靶的电流以及稀土氟化物靶的功率，来制备二硫化钼基复合薄膜。该薄膜不仅结构致密，减摩性能优异，而且显著改善了传统MoS2基薄膜的耐磨性，寿命提高数倍。 | ||
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