| 申请日期 | 2025-02-22 | 申请号 | US15796495 |
| 公开（公告）号 | US20180044247A1 | 公开（公告）日 | 2018-02-15 |
| 公开国别 | US | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | Applied Materials Inc | ||
| 简介 | An article comprises a plasma resistant ceramic material comprising 80-90 mol % of Y2O3, over 0 mol % to 20 mol % of ZrO2, and 10-20 mol % of Al2O3. | ||
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