| 申请日期 | 2025-02-25 | 申请号 | CN201780002518.0 |
| 公开（公告）号 | CN107849704A | 公开（公告）日 | 2018-03-27 |
| 公开国别 | CN | 申请人省市代码 | 全国 |
| 申请人 | 应用材料公司 | ||
| 简介 | 一种用于制品的表面的多层涂层包含扩散阻障层和抗侵蚀层。扩散阻障层可以是氮化物膜，包括、但不限于TiNx、TaNx、Zr3N4和TiZrxNy。抗侵蚀层可以是稀土氧化物膜，包括、但不限于YF3、Y2O3、Er2O3、Al2O3、ZrO2、ErAlxOy、YOxFy、YAlxOy、YZrxOy和YZrxAlyOz。扩散阻障层和抗侵蚀层可利用薄膜沉积技术沉积于制品的表面上，包括、但不限于ALD、PVD和CVD。 | ||
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