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Methods of forming low interface resistance rare earth metal contacts and structures formed thereby 发明授权

2022-06-06 4350 458K 0

专利信息

申请日期 2025-02-25 申请号 US12317180
公开(公告)号 US9934976B2 公开(公告)日 2018-04-03
公开国别 US 申请人省市代码 全国
申请人 Niloy Mukherjee; Matt Metz; Gilbert Dewey; Jack Kavalieros; Robert S Chau
简介 Methods and associated structures of forming a microelectronic device are described. Those methods may include forming a contact opening in an inter layer dielectric (ILD) disposed on a substrate, wherein a source/drain contact area is exposed, forming a rare earth metal layer on the source/drain contact area, forming a transition metal layer on the rare earth metal layer; and annealing the rare earth metal layer and the transition metal layer to form a metal silicide stack structure.


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