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紫外线反射膜及溅镀靶材 发明授权

2022-06-06 1680 704K 0

专利信息

申请日期 2025-02-26 申请号 TW105140188
公开(公告)号 TWI621716B 公开(公告)日 2018-04-21
公开国别 TW 申请人省市代码 全国
申请人 钢臂功科研股份有限公司
简介 本发明提供一种紫外线反射膜,其中藉由将构成紫外线反射膜的稀土元素、Cu及剩余部分的Al的量、以及稀土元素与Cu之比率控制於既定的范围内,波长254 nm的紫外线的反射率为85%以上一种紫外线反射膜,含有0.2 at%以上且3.0 at%以下的一种或两种以上的稀土元素、及0.2 at%以上且6.0 at%以下的Cu的任一者,剩余部分包含Al及不可避免的杂质,满足下述(1)式,波长254 nm的紫外线的反射率为85%以上 X+0.5Y<3.5···(1) [X为稀土元素的量[at%],Y为Cu的量[at%]]


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