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一种稀土氧化物作为存储层的全透明阻变存储器及其制作方法 发明授权

2022-06-06 4520 455K 0

专利信息

申请日期 2024-11-17 申请号 CN201310403536.3
公开(公告)号 CN104425712B 公开(公告)日 2018-06-15
公开国别 CN 申请人省市代码 全国
申请人 北京有色金属研究总院
简介 一种稀土氧化物作为存储层的全透明阻变存储器,包括底电极、顶电极以及位于底电极和顶电极之间的阻变存储层材料,所述阻变存储层材料由一层稀土氧化物薄膜构成,在可见光区具有接近100%的透过率。其制作方法包括以下步骤:(1)透明衬底的清洗;(2)在透明衬底上制作底电极;(3)利用物理气相沉积技术在底电极上沉积稀土氧化物薄膜;(4)利用光学曝光技术形成顶电极图形,制作顶电极。本发明的全透明阻变存储器具有高透光率、存储密度高、存储稳定好、免电激活等优点,在透明电子的非易失性存储领域具有非常好的应用前景;其制作方法简单、成本低。


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